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J-GLOBAL ID：200903079628601764

非点収差補正方法及び非点収差補正装置

Inventor： 小野口 一則 ,  小笠原 宗博
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996259514
Publication number (International publication number)：1998106469
Application date： Sep. 30, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 SEMに用いる荷電粒子光学鏡筒において、高精度かつ容易に非点収差補正を可能にする。【解決手段】 非点収差を補正するためのスティグマタを備えた荷電粒子光学鏡筒における非点収差補正方法において、試料上に電子ビームを2次元走査して得られる2次粒子信号を抽出するステップS1と、2次粒子信号の2次元空間でのフーリエ変換を行い、パワースペクトルを算出するステップS2と、パワースペクトルを2値化した画像を求めるステップS3と、2値化画像の主軸と該主軸に直交する方向の軸を求めるステップS4と、2値化画像中の各点の主軸に対しての距離と主軸に直交する方向の軸に対しての距離を求めることで、非点収差の強さと方向を決定するステップS5と、非点収差の強さと方向からスティグマタを調整するステップS6とを有する。

Claim (excerpt)：

非点収差を補正するためのスティグマタを備えた荷電粒子光学鏡筒を用い、試料上に荷電粒子ビームを2次元的に走査して得られる2次粒子信号を抽出する第1のステップと、抽出された2次粒子信号の2次元空間でのフーリエ変換を行い、パワースペクトルを算出する第2のステップと、算出されたパワースペクトルを2値化した画像を求める第3のステップと、求められた2値化画像の主軸と該主軸に直交する方向の軸を求める第4のステップと、前記主軸と前記2値化画像中の試料画像領域の両端とが交わる2点間の距離と、前記主軸に直交する方向の軸と前記2値化画像中の試料画像領域の両端とが交わる2点間の距離を求めることで、非点収差の強さと方向を決定する第5のステップと、決定された非点収差の強さと方向から前記スティグマタを調整する第6のステップと、を有することを特徴とする荷電粒子光学鏡筒における非点収差補正方法。