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J-GLOBAL ID：200903079633830992

感光性組成物

Inventor： 上村 次郎 ,  佐々木 充 ,  中井 英之 ,  秋山 健夫 ,  松村 智之 ,  鈴木 利継
Applicant, Patent owner： 三菱化成株式会社 ,  コニカ株式会社
Agent (1)： 長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991262376
Publication number (International publication number)：1993100422
Application date： Oct. 09, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：

【要約】【構成】 感光性組成物で、少なくともキノンジアジド化合物、アルカリ可溶性樹脂、露光により酸を生成する化合物、有機染料、及び特定の骨格を有するハロゲン化合物を含有することを特徴とする。【効果】 通常露光時だけでなく、低露光時においても優れた露光可視画性を有する。

Claim (excerpt)：

少なくとも(a)キノンジアジド化合物、(b)アルカリ可溶性樹脂、(c)露光により酸を生成する化合物、(d)有機染料及び(e)下記一般式(I)で表わされるハロゲン化合物【化1】(式中、R1 〜R3 は各々、水素原子、ハロゲン原子、又はハロゲン化アルキル基を表わすが少なくとも1つはハロゲン化アルキル基を表わし、XはN又はCHを表わす)を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 507 ,  H01L 21/027