アクチュエータ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000044545
Publication number (International publication number)：2001235702
Application date： Feb. 22, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】所望な特性を得るに十分な剛性を有するとともに、高い耐衝撃性を有するアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータは、可動板102と、可動板102の両側から延びる一対のねじりばね104と、ねじりばね104を介して可動板102を支持する支持部106とを備えている。可動板102とねじりばね104と支持部106はSOI基板110をスタートウエハーとして半導体製造技術によって作製される。ねじりばね104は主に活性層(シリコン層)116とポリイミド層140とで構成されている。シリコン層116は剛性の高い部材であり、ねじりばね104の弾性率を決定する主たる部材である。ポリイミド層140は耐衝撃性の高い部材である。ポリイミド層140は、駆動電極126の部分を除いて、可動部102とねじりばね104と支持部106を覆っている。

Claim (excerpt)：

可動板と、可動板から延びる弾性部材と、弾性部材を介して可動板を支持する支持部とを備え、支持部に対して可動板が移動可能なアクチュエータにおいて、弾性部材は剛性の高い弾性材料と耐衝撃性の高い弾性材料とを含み、剛性の高い弾性材料は弾性部材全体の弾性率を決定する主たる材料であり、これにより弾性部材は高い剛性と高い耐衝撃性とを兼ね備えている、アクチュエータ。

F-Term (3)：

2H045AB06 , 2H045AB16 , 2H045AB73

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

微細加工を使用した光学ヘッド
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平10-511943 Applicant：クインタ・コーポレイション

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