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J-GLOBAL ID：200903079653391006

光学的な開口の作製方法

Inventor： 新輪 隆 ,  加藤 健二 ,  大海 学 ,  光岡 靖幸 ,  笠間 宣行 ,  前田 英孝 ,  篠原 陽子 ,  市原 進
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001126415
Publication number (International publication number)：2002071545
Application date： Apr. 24, 2001
Publication date： Mar. 08, 2002
Summary：

【要約】【課題】 本発明の課題は、簡便な方法で均一な開口径を有する微小開口を形成する方法を提供することである。【解決手段】 錐状のチップ1と前記チップの近傍に配置され、前記チップと略同じ高さを有するストッパー2と、少なくとも前記チップ上に形成された遮光膜3からなる被開口形成体に対して、少なくとも前記チップ1および前記ストッパー2の少なくとも一部を覆うような略平面を有する押し込み体7を、前記チップに向かう成分を有する力によって変位させることによって、前記チップ先端に光学的な開口を形成する。

Claim (excerpt)：

錐状のチップと、前記チップと略同じ高さを有するストッパーと、前記チップ上に設けられた遮光膜とを有する被開口形成体に対して、前記チップおよび前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面部を有する押し込み体を、前記チップに向かう成分を有する力によって変位させることによって、前記チップ先端に開口を形成することを特徴とする開口の作製方法。

IPC (3)：

G01N 13/14 ,  G11B 7/135 ,  G12B 21/06

FI (3)：

G01N 13/14 B ,  G11B 7/135 A ,  G12B 1/00 601 C

F-Term (3)：

5D119AA22 ,  5D119JA34 ,  5D119NA05