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J-GLOBAL ID：200903079666366248

超音波装置及びその製造方法

Inventor： 田村 剛
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 小池 隆彌
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998065975
Publication number (International publication number)：1999264065
Application date： Mar. 17, 1998
Publication date： Sep. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】 安価なコストで表面粗さを低減し、且つ表面硬度を上げた耐エロージョン性に優れた超音波装置とその製造方法を提供する。【解決手段】 液体と接する部材7の表面にメッキ層9を被覆した超音波装置において、該メッキ層9上に、硬質窒化層、硬質炭化層、硬質炭窒化層のうち少なくとも1種類を含んでいる成層層11〜13を形成する。また、メッキ層9と成層層11〜13の間にチタン層10を形成しても良い。さらに上記メッキ層9が硬質クロム層であり、層厚20μm以上100μm以下であり、振動板の硬質層11〜13の材質が、窒化チタン、炭窒化チタン、炭化チタン、窒化ジルコニウム、窒化クロム、窒化チタンアルミのいずれかの1種類以上で、その硬度は1500Hv以上が良い。さらに硬質層11〜13の製造方法はイオンプレーティング法或いはアークイオンプレーティング法を用いる。

Claim (excerpt)：

液体と接する部材の表面に金属層を被覆した超音波装置において、該金属被覆層は、第1の金属層と硬質窒化層、硬質炭化層、硬質炭窒化層のうち少なくとも1種類を含む第2の金属層を有していることを特徴とする超音波装置。

IPC (3)：

C23C 14/06 ,  B06B 1/02 ,  B08B 3/12

FI (3)：

C23C 14/06 N ,  B06B 1/02 K ,  B08B 3/12 B