Pat
J-GLOBAL ID：200903079712902427
大気圧グロー放電プラズマのモニター方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992189274
Publication number (International publication number)：1993217690
Application date： Jul. 16, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：
【要約】【構成】 大気圧下の放電によるグロープラズマの生成とその安定化に際し、電流パルス数の検知によりモニターする。また、電流パルス数とともに、維持電圧の変化および/または全電流値の変化によりモニターすることや、リサジュー図形によってモニターすることによってプラズマ状態の検知から、プラズマを安定制御する。【効果】 的確で、迅速、かつ簡便な大気圧グロー放電プラズマの安定化モニターと、そのための制御が可能となる。
Claim (excerpt)：
大気圧下の放電によるグロープラズマの生成とその安定化に際し、電流パルス数の検知によりモニターすることを特徴とする大気圧グロー放電プラズマのモニター方法。
IPC (2)：
Return to Previous Page
