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J-GLOBAL ID：200903079731820989
半導体基体とその作製方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992046303
Publication number (International publication number)：1993217990
Application date： Jan. 31, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、従来の高価な小面積の化合物半導体基板に代り得る、Si上に単結晶化合物半導体を有する半導体基体を、極めて、現実的かつ、高生産性、高均一性、高制御性をもって作製可能な半導体基体の作製方法及び半導体基体を提供することを目的とする。【構成】 本半導体基板の作製方法は、第1のSi基板の表面層を多孔質化する工程、多孔質Siの孔の内壁を酸化する工程、その上に単結晶化合物半導体を形成する工程、該単結晶化合物半導体層の表面と、別のSi支持基板とを貼り合わせ、まず、第1のSi基板を多孔質Siをエッチストップ層として選択的にエッチングし、次に、多孔質Siを、単結晶化合物半導体層をエッチストップ層として多孔質Siを除去し、Si基板上に単結晶構造を有する化合物半導体層を均一に形成することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
第1のSi基体の少なくとも主面側の表面層を多孔質化する工程、多孔質Si層の孔の内壁を酸化する工程、該多孔質Si層上に単結晶の化合物半導体層を形成する工程、該単結晶化合物半導体層表面と、第1のSi基体とは別の第2のSi基体の主面とを貼り合わせる工程、貼り合わせ基体の第2のSi基体側にエッチング耐性マスクを形成した後、第1のSi基体を選択的にエッチングして除去する第1エッチング工程、表面に表出した多孔質Si層を、該化合物半導体に対してSiのエッチング速度の速いエッチング液を用いて、多孔質Siのみを選択的に化学エッチングすることにより除去する第2エッチング工程、を少なくとも有することを特徴とする半導体基体の作製方法。
Patent cited by the Patent：
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