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J-GLOBAL ID：200903079751200138

中性活性種の検出方法とその装置

Inventor： 藤井 敏博
Applicant, Patent owner： 国立環境研究所長
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991305146
Publication number (International publication number)：1994011485
Application date： Nov. 20, 1991
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 プラズマ等の中性活性種を高感度で検出する。【構成】 中性活性種を1価または2価の金属イオン、たとえばLi+ に付加し、この付加イオンを質量分析により検出する。

Claim (excerpt)：

中性活性種を1価または2価金属イオンに付加し、この付加イオンを質量分析により検出することを特徴とする中性活性種の検出方法。