Pat

J-GLOBAL ID：200903079818546638

金属膜支持体及びセラミックグリーンシート供給体並びに電子部品用セラミック積層体

Inventor： 臼田 利克 ,  久保寺 紀之
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 宮▼崎▲ 主税 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993142316
Publication number (International publication number)：1994349674
Application date： Jun. 14, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 内部電極とセラミック層との間におけるデラミネーションの発生を防止することができる金属膜支持体を得る。【構成】 PETフィルム2の支持体の上に、金属膜1を薄膜形成法により形成し、金属膜1にピンホール開口面積率が0.5〜70%となるように複数のピンホール1aを形成する。

Claim (excerpt)：

支持体と、前記支持体上に薄膜形成法により形成されており、かつピンホール開口面積率が0.5〜70%であるように複数のピンホールが形成された金属膜とを備えることを特徴とする、金属膜支持体。

IPC (4)：

H01G 4/12 364 ,  C23C 14/20 ,  H01G 4/30 311 ,  H01G 1/015