強誘電体キャパシタ用セラミック電極

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松隈秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995295670
Publication number (International publication number)：1997139476
Application date： Nov. 14, 1995
Publication date： May. 27, 1997
Summary：

【要約】【課題】強誘電体の組成ずれと、これによる誘電体特性の劣化を抑止し、特性の良好な強誘電体キャパシタを形成すものである。【解決手段】強誘電体キャパシタの導電性セラミック電極からなる上部電極層、下部電極層の少なくとも一方の電極層において、電極層とキャパシタの強誘電体との間に、強誘電体に含まれる元素と導電性セラミック電極に含まれる元素とを少なくともそれぞれ1元素ずつ含んでなる良導電性のパイロクロア型構造の化合物からなる層が配置形成された強誘電体キャパシタのセラミック電極を構成する。

Claim (excerpt)：

強誘電体キャパシタの導電性セラミック電極からなる上部電極層、下部電極層の少なくとも一方の電極層において、該電極層との上記キャパシタの強誘電体との間に、上記強誘電体に含まれる元素と上記導電性セラミックに含まれる元素とを少なくともそれぞれ1元素ずつ含んでなる良導電性のパイロクロア型構造の化合物からなる層が配置形成されたことを特徴とする強誘電体キャパシタ用セラミック電極。

IPC (3)：

H01L 27/108 , H01L 21/8242 , H01L 27/105

FI (3)：

H01L 27/10 621 Z , H01L 27/10 441 , H01L 27/10 651

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

強誘電性素子のための多層電極
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-086509 Applicant：シャープ株式会社

Return to Previous Page