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J-GLOBAL ID：200903079841306245

照明光学系

Inventor： 谷津 修 ,  森 孝司 ,  広瀬 秀男
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992242486
Publication number (International publication number)：1994097047
Application date： Sep. 11, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】従来よりも格段に照明効率が高く、より高いスループット化にも十分に対応でき、しかもケーラー照明が実現できる高性能な照明光学系の実現。【構成】所定の大きさの光源像または所定の大きさの光源を形成する光源手段と、該光源手段からの光束を集光して被照明物体を照明する集光光学系とを有する照明光学系において、前記集光光学系は、前記光源像または前記光源からの光束を平行光束に変換して前記被照明物体上を円弧状に照明する特殊反射鏡を有し、該特殊反射鏡は、放物線の頂点から該放物線の対称軸に沿って所定の距離だけ隔てた位置を該対称軸に対して垂直に通る基準軸を中心に回転させた放物トーリック形状の回転体の1部より構成される。

Claim (excerpt)：

所定の大きさの光源像または所定の大きさの光源を形成する光源手段と、該光源手段からの光束を集光して被照明物体を照明する集光光学系とを有する照明光学系において、前記集光光学系は、前記光源像または前記光源からの光束を平行光束に変換して前記被照明物体上を円弧状に照明する特殊反射鏡を有し、該特殊反射鏡は、放物線の頂点から該放物線の対称軸に沿って所定の距離だけ隔てた位置を該対称軸に対して垂直に通る基準軸を中心に回転させた放物トーリック形状の回転体の1部より構成されることを特徴とする照明光学系。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭59-218729
  
• 特開昭63-102228
  
• 特開平3-049213