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J-GLOBAL ID：200903079848270165
微少電流測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995005907
Publication number (International publication number)：1996195420
Application date： Jan. 18, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【構成】 第1のフォース端子10aと第1のガード端子10c間に接続された第1の直流電圧電源と第1の電流計の直列回路、同様に接続された第2の直流電圧源と第2の電流計の直列回路、10b,10c′間に接続された電圧計と端子10b′,10c′間に接続された電圧計を具える測定器9と、各端子が接触する端子8a,8a′,8b,8b′,8c,8c′を具える接続手段7と、対象12の両端に接触するプローブ2,2′とそれらに接続される各1対の端子3a,3b;3a′,3b′を具えるプローブ手段1と、端子8a,8b,8c並びに1対の端子3a,3b間に直結されたガーディング方式の第1の同軸ケーブル6と、第1の端子8a′、第2の端子8b′及びガード接続端子8c′並びに第2のガード接続端子8c′並びにプローブ2′に接続される1対の端子3a′,3b′間に直結されるガーディング方式の第2の同軸ケーブル6′とを有する。【効果】 測定対象の微少電流を測定でき測定対象に印可する直流電圧を設定できる。
Claim (excerpt)：
直流電圧源及び電流計の直列回路、該直列回路に並列接続された電圧計及び上記直列回路の両端がそれぞれ接続された対をなす端子を備える測定器と、該測定器の上記対をなす端子がそれぞれ接触する対をなす接続端子を備える接続手段と、測定対象の両端に接触する対をなすプローブ及び該対をなすプローブにそれぞれ接続された対をなす端子を備えるプローブ手段と、上記接続手段の対をなす接続端子及び上記プローブ手段の対をなす端子間にそれぞれ直結された対をなす同軸ケーブルとを有し、上記直流電圧源によって上記測定対象に所定の直流電圧を印加したときに、該測定対象に流れる微小電流を上記電流計で測定するようにしたことを特徴とする微小電流測定装置。
IPC (3)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/02
