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J-GLOBAL ID：200903079899844760
表面欠陥検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小塩 豊
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996166357
Publication number (International publication number)：1998010052
Application date： Jun. 26, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 本来欠陥とはならない極めて薄い凹凸をも欠陥として誤検出するおそれがない表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 被検査面1aに所定の明暗パターンを形成する照明手段2と、被検査面1aを撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段3と、画像データにおける空間周波数成分のうち高い周波数成分でかつレベルが所定値以上の成分のみを欠陥の候補として抽出する画像処理手段4と、被検査面1aもしくは照明手段2および撮像手段3の少なくともいずれか一方を移動させながら任意の時刻毎に上記画像処理手段4により所定の処理を実行してそこで得られる時系列に処理された連続した2つの画像を所定の比較条件で適合するか否かを判定して適合した際にはその欠陥候補領域を欠陥と判断する追跡処理手段5とからなる。
Claim (excerpt)：
被検査体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査面に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、画像データにおける空間周波数成分のうち高い周波数成分でかつレベルが所定値以上の成分のみを欠陥の候補として抽出する画像処理手段と、被検査面もしくは照明手段および撮像手段の少なくともいずれか一方を移動させながら任意の時刻毎に上記画像処理手段により所定の処理を実行してそこで得られる時系列に処理された連続した2つの画像のそれぞれに存在する欠陥候補の座標値から算出した移動画素数d1および移動方向が、上記2つの画像間の時間差tと上記移動の速度vと上記移動方向の撮像手段の視野Sと上記移動方向の画像の大きさ(画素数)Lとに基づいて算出される移動画素数d2および上記2つの画像間における欠陥候補の移動方向に対して、所定の比較条件で適合するか否かを判定して適合した際にはその欠陥候補領域を欠陥と判断する追跡処理手段と、上記被検査面もしくは照明手段および撮像手段の移動に関する物理量を検出する移動検出手段と、上記追跡処理手段において撮像手段から被検査面までの撮影距離に基づいて上記移動画素数d2を補正する構成としたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 21/88 A
, G01N 21/88 J
, G01B 11/30 G
