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J-GLOBAL ID：200903079901250490

膜厚測定装置

Inventor： 松村 憲明 ,  内田 豊一
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991259479
Publication number (International publication number)：1993099627
Application date： Oct. 07, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、薄膜の温度が不明でも精度よく測定できるとともに、従来のような別の手段を用いなくとも薄膜の温度を測定可能にすることを主要な目的とする。【構成】光源(21)と中心値の異なる2種類の波長選択手段(22a,22b) を具備する測定光照射手段(22)と、螢光の強度測定手段と、それぞれの中心波長の照射光に対する被測定薄膜の温度と膜厚と螢光強度の特性記憶手段と、膜厚演算手段(28)とを具備し、中心波長の異なる2種の照射光に対する螢光強度に基づき、被測定薄膜の温度と膜厚を同時に測定することを特徴とする膜厚の測定装置。

Claim (excerpt)：

光源と中心値の異なる2種類の波長選択手段を具備する測定光照射手段と、螢光の強度測定手段と、それぞれの中心波長の照射光に対する被測定薄膜の温度と膜厚と螢光強度の特性記憶手段と、膜厚演算手段とを具備し、中心波長の異なる2種の照射光に対する螢光強度に基づき、被測定薄膜の温度と膜厚を同時に測定することを特徴とする膜厚の測定装置。

IPC (4)：

G01B 11/06 ,  G01J 5/58 ,  G01K 11/20 ,  G01J 3/443