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J-GLOBAL ID：200903079901882445

ポリシリコンTFT方式LCD用石英ガラス基板

Inventor： 八馬 進 ,  菊川 信也 ,  大田 幸則
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991327150
Publication number (International publication number)：1993139776
Application date： Nov. 15, 1991
Publication date： Jun. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】耐熱性、光学的特性に優れたポリシリコンTFT方式LCD用石英ガラス基板。【構成】アルミニウム含有量が5〜40ppm、ハロゲン含有量が10ppm以下、OH含有量が100ppm以下、重金属およびアルカリの含有量の総計が1ppm以下であって、徐冷点が1180°C以上であることを特徴とするポリシリコンTFT方式LCD用石英ガラス基板。

Claim (excerpt)：

アルミニウム含有量が5〜40ppm、ハロゲン含有量が10ppm以下、OH含有量が100ppm以下、重金属およびアルカリの含有量の総計が1ppm以下であって、徐冷点が1180°C以上であることを特徴とするポリシリコンTFT方式LCD用石英ガラス基板。

IPC (3)：

C03C 3/06 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/136 500