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J-GLOBAL ID：200903079938619396

X線照明用ゾーンプレート

Inventor： 杉崎 克己
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993226838
Publication number (International publication number)：1995084096
Application date： Sep. 13, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、X線顕微鏡において試料を照明するために使用されるX線照明用ゾーンプレートに関し、照明ムラを従来より大幅に低減することを目的とする。【構成】 X線を透過させる透過輪帯と透過させない不透過輪帯とを同心状に交互に形成してなるX線照明用ゾーンプレートにおいて、前記不透過輪帯の間隔を同一間隔にして構成する。

Claim (excerpt)：

X線を透過させる透過輪帯と透過させない不透過輪帯とを同心状に交互に形成してなるX線照明用ゾーンプレートにおいて、前記不透過輪帯の間隔を同一間隔にしてなることを特徴とするX線照明用ゾーンプレート。

IPC (4)：

G21K 1/06 ,  G02B 5/18 ,  G02B 21/06 ,  G21K 7/00