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J-GLOBAL ID：200903079990223468

基板処理装置のロードポートシステム及び基板の処理方法

Inventor： 徳永 謙二
Applicant, Patent owner： 株式会社半導体先端テクノロジーズ
Agent (1)： 高田 守 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999334104
Publication number (International publication number)：2001156142
Application date： Nov. 25, 1999
Publication date： Jun. 08, 2001
Summary：

【要約】【課題】 FOUP(ウェーハキャリア)のドアの開閉信頼性の向上、および処理装置内部へのパーティクル(異物微粒子)の十分な侵入防止性の実現を図ることで高歩留まりで集積回路の生産ができるロードポートならびにFOUP構造およびこれらを用いた生産方法を得る。【解決手段】 基板処理装置のロードポート機構において、基板処理装置がウェーハキャリアとドッキングするドア周囲のシール面、または、ウェーハキャリアのドア周囲のシール面に突起を設けて両者を当接させるようにし、基板処理装置のシール面とウェーハキャリアのシール面との間を所定距離だけ離間させ、基板処理装置内部から外部への清浄空気の流通路を形成する。

Claim (excerpt)：

基板処理装置のロードポートドアの周囲のシール面に、ウェーハキャリアのドア開口部周囲のシール面に当接するための複数の突起を設けたことを特徴とする基板処理装置のロードポートシステム。

FI (2)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T

F-Term (13)：

5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA06 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031MA23 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031NA02 ,  5F031NA10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 可搬式密閉コンテナ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-269780   Applicant：神鋼電機株式会社