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J-GLOBAL ID：200903079995749930

回折光学素子およびその製造方法

Inventor： 林 賢一
Applicant, Patent owner： 株式会社三協精機製作所
Agent (1)： 横沢 志郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000079199
Publication number (International publication number)：2001264527
Application date： Mar. 22, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 複数の凹凸状の格子を有する周期格子の表面に、反射防止膜を連続して均一の膜厚で形成することのできる回折光学素子およびその製造方法を提案すること。【解決手段】 回折光学素子1では、周期格子2が形成されたガラス基板3を、反射防止材料の液体40を溜めた容器51に浸漬してから、引き上げて温風Fにより乾燥する工程からなるディッピング法により、周期格子2の表面に第1の反射防止膜41を形成する。膜厚は、液体の粘度、引き上げ速度、乾燥速度によって制御できる。周期格子2は、その形成方向が常に液面43に対して垂直になるように引き上げられるので、余分な反射防止材料が格子間にとどまることなく周期格子2に沿って流れ落ちる。基板表面に残った反射防止材料を乾燥すると、第1の反射防止膜41が、連続して均一な膜厚で形成される。同時にガラス基板3の裏面32にも第2の反射防止膜42が形成される。

Claim (excerpt)：

表面に複数の凹凸状の格子を有する周期格子が形成された基板と、前記周期格子の表面上に形成された反射防止膜とを有する回折光学素子において、前記反射防止膜は、ディッピング法により形成された膜であることを特徴とする回折光学素子。

IPC (5)：

G02B 5/18 ,  C03C 17/28 ,  C03C 17/34 ,  G02B 1/11 ,  G11B 7/135

FI (5)：

G02B 5/18 ,  C03C 17/28 A ,  C03C 17/34 A ,  G11B 7/135 A ,  G02B 1/10 A

F-Term (29)：

2H049AA33 ,  2H049AA43 ,  2H049AA57 ,  2H049AA63 ,  2H049AA64 ,  2K009AA02 ,  2K009BB02 ,  2K009BB11 ,  2K009DD02 ,  4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059AB05 ,  4G059AB11 ,  4G059AC04 ,  4G059AC09 ,  4G059FA00 ,  4G059FA09 ,  4G059FB05 ,  4G059GA01 ,  4G059GA04 ,  4G059GA11 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119JA03 ,  5D119JA13 ,  5D119JA22 ,  5D119JA46 ,  5D119JA64 ,  5D119JA65