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J-GLOBAL ID：200903080003987204

光へテロダイン干渉を利用する測定方法及びそれを用いた測定装置

Inventor： 神谷 誠一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996017131
Publication number (International publication number)：1997189537
Application date： Jan. 06, 1996
Publication date： Jul. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ビームスプリッタの薄膜特性等に起因する形状情報を含まない不要なヘテロダイン信号成分を除去して、被測定面の形状等を高精度に測定できる光ヘテロダイン干渉を利用する測定方法及びそれを用いた測定装置を得ること。【解決手段】 光源手段から射出する2つの光波のうち、第1光波より参照光波を得、第2光波を被測定面に入射させて測定光波を得た後に双方を2つに分割し、一方の光波を第1検出手段で検出して基準点ヘテロダイン信号を得、他方の光波を第2検出手段で検出してヘテロダイン信号を得、両信号を用いて該被測定面の形状を測定する際、該光源手段の直後より得た基準ヘテロダイン信号と、該参照光波を遮断して該第1検出手段で得る第1ヘテロダイン信号成分そして該測定光波を遮断して該第1検出手段で得る第2ヘテロダイン信号成分とを調整手段に入力し、該調整手段により該第2検出手段で得られるヘテロダイン信号を補正する。

Claim (excerpt)：

光源手段から射出する周波数及び偏光面が異なる第1光波と第2光波を重ね合わせて光束分離手段に入射させて該偏光面の方向により2つの光波に分離し、分離された第1光波を遮断して、分離された第2光波を被測定面に導光・反射させた光波を偏光板を介して第2光波と漏れ光として含まれる第1光波とを干渉させて第1ヘテロダイン信号成分を検出し、該光束分離手段へ入射する前の該第1光波と第2光波若しくは該光源手段から得られる基準ヘテロダイン信号を第1調整手段を介して出力した信号と該第1ヘテロダイン信号成分とを比較して、該第1調整手段からの出力が該第1ヘテロダイン信号成分を打ち消すように該第1調整手段のゲイン・位相を調整し、次いで該光束分離手段で分離された第2光波を遮断して、分離された第1光波を参照面に導光・反射させた光波を該偏光板を介して第1光波と漏れ光として含まれる第2光波とを干渉させて第2ヘテロダイン信号成分を検出し、該基準ヘテロダイン信号を第2調整手段を介して出力した信号と該第2ヘテロダイン信号成分とを比較して、該第2調整手段からの出力が該第2ヘテロダイン信号成分を打ち消すように該第2調整手段のゲイン・位相を調整し、次いで該光束分離手段で分離された第2光波を被測定面に導光して該被測定面の形状情報を与えて測定光波を得、該光束分離手段で分離された第1光波を参照面に導光・反射させて参照光波を得、該測定光波と該参照光波を該光束分離手段と該偏光板を介して合波して干渉させてヘテロダイン信号を検出し、該ヘテロダイン信号に該第1調整手段からの出力と該第2調整手段からの出力とを加算した信号と、該被測定面の基準点に対する基準点ヘテロダイン信号との位相差より該被測定面の形状情報を得ることを特徴とする光ヘテロダイン干渉を利用する測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/24

FI (3)：

G01B 11/30 Z ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D