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J-GLOBAL ID：200903080014279716

クリーンルーム

Inventor： 大熊 芳郎 ,  小山 進
Applicant, Patent owner： ホソカワミクロン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992065491
Publication number (International publication number)：1994094278
Application date： Feb. 04, 1992
Publication date： Apr. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 クリーンルーム内に虫などが侵入するのを防止する。【構成】 クリーンルーム内に清浄化空気を送り込んで室内を通常よりも高い4mmAq前後の圧力状態に保持させる。これにより、室内の空気が扉およびその他の隙間から外部に吹き出すことになり、同隙間からの虫などの侵入を防止することができるようになった。

Claim (excerpt)：

被清浄室内に清浄化された空気を送り込み、該室内の圧力を略4mmAq以上に保持することにより、塵埃や虫などの侵入を防止することを特徴としたクリーンルーム。

IPC (4)：

F24F 7/06 ,  B01L 1/02 ,  B01L 1/04 ,  F24F 9/00