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J-GLOBAL ID：200903080025147412

自動欠陥情報収集制御方法及び自動欠陥情報収集制御プログラムを記録した記録媒体

Inventor： 馬場 英花 ,  小沢 康彦 ,  下田 篤 ,  高木 裕治
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998239819
Publication number (International publication number)：2000067243
Application date： Aug. 26, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】欠陥,異物の高分解能自動観察の効率化することにある。【解決手段】異常部検査装置の検査方法,欠陥異物座標等の検査結果情報を基に、電子顕微鏡を用いて、特異点の自動検出を行い、検出された特異点の情報を観察処理する。該特異点の自動検出方法は特異点検出方法設定手段である画面から、使用者が被検査対象物のパターン情報を設定することで、パターン無し、もしくは周期パターン部の時は参照点に移動しないなどの効率的な特異点検出を行う。

Claim (excerpt)：

プログラムされたコンピュータによって自動欠陥画像の収集を制御する方法であって、被検査対象物上の異常部を検査する異常部検査装置の検査情報を読み取る工程、該異常部検査装置の情報に基づいて異常部存在領域から異常部を特異点として自動的に検出する工程、該特異点についての情報を得る観察処理工程、該異常部検査装置の情報に基づいて該特異点自動検出方法を設定する工程を含むことを特徴とする自動欠陥情報収集制御方法。

IPC (3)：

G06T 7/00 ,  H01L 21/66 ,  G01N 23/225

FI (4)：

G06F 15/62 405 A ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 Z ,  G01N 23/225

F-Term (31)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001FA02 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA01 ,  2G001HA13 ,  2G001JA13 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  4M106AA01 ,  4M106AA09 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB01 ,  4M106DB05 ,  4M106DB21 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ38 ,  5B057CH01 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DB02 ,  5B057DC05 ,  5B057DC36