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J-GLOBAL ID：200903080044926562

ウェハ貼着用粘着シート

Inventor： 峯 浦 芳 久 ,  江 部 和 義 ,  細 野 茂
Applicant, Patent owner： リンテック株式会社
Agent (1)： 鈴木 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992036162
Publication number (International publication number)：1993235150
Application date： Feb. 24, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【構成】 ウェハダイシング用粘着テープにおいて、基材フィルムとして、少なくとも3層以上の構成層を有し、該構成層の最上層および最下層を除く層の内の少なくとも1層が、エチレン・ビニルアルコール共重合体または非晶性ポリアミドからなる積層体を用いる。【効果】 ウェハのダイシング、エキスパンディング工程における作業性が良好であり、ウェハを汚染することのないウェハ貼着用粘着シートを提供することができる。

Claim (excerpt)：

基材フィルムと粘着剤層とからなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、該基材フィルムが少なくとも3層以上の構成層を有し、該構成層の最上層および最下層を除く層の内の少なくとも1層が、エチレン・ビニルアルコール共重合体または非晶性ポリアミドからなることを特徴とするウェハ貼着用粘着シート。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  C09J 7/02 JJA ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/78