Pat

J-GLOBAL ID：200903080075197011

露光装置及び露光方法

Inventor： 田中 慶一 ,  バナード マイク
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001342735
Publication number (International publication number)：2002208562
Application date： Nov. 08, 2001
Publication date： Jul. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 露光精度の向上及び装置の大型化の抑制を図る。【解決手段】 駆動装置11を用いてステージWSTを駆動することにより物体Wを移動面に沿って移動させつつ、露光ビームを照射して所定のパターンの転写を行う。かかる露光中には、ステージの移動に応じて、カウンタステージ(22等)がステージとは反対方向に移動するため、ステージ駆動による反力がほぼ完全に吸収される。このため、ステージの駆動に伴った振動や偏荷重が発生せず、高精度な露光を行うことができる。また、露光ビームが照射されていないときには、補正装置(45A1等)によって適宜、その後の露光動作のためのカウンタステージの移動ストロークを確保するように、カウンタステージの位置が補正されるので、カウンタステージ用として確保しなければならないストローク長を短くすることができる。従って、装置の大型化を抑制することができる。

Claim (excerpt)：

物体を移動面に沿って移動させつつ、露光ビームの照射によりパターンを転写する露光装置であって、前記物体を保持するステージと;少なくとも一部が前記ステージに接続され、前記ステージを前記移動面に沿って駆動する駆動装置と;前記ステージの移動に応じて、前記ステージとは反対方向に移動するカウンタステージと;少なくとも一部が前記カウンタステージに接続され、前記露光ビームが照射されていないときに、前記カウンタステージの位置を補正する補正装置と;を備える露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/68

FI (4)：

G03F 7/22 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 503 F

F-Term (24)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031HA57 ,  5F031HA60 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA07 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA02 ,  5F046AA23 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CC20 ,  5F046DA07