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J-GLOBAL ID：200903080086844604

電界放射型電子銃及び電子線装置

Inventor： 平野 暢夫 ,  小針 利明 ,  中泉 泰
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 鵜沼 辰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994265085
Publication number (International publication number)：1996129981
Application date： Oct. 28, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 輝度が高く、安定した電子線を放射する電界放射型電子銃の提供。【構成】 電界放射型電子銃に、電子線電流を検出する電流計24と、検出された電子線電流の直流成分Aに対する交流成分Bの割合B/Aを演算する演算回路25と、フィラメント41とフィラメント用電源44と、前記電子線電流の交流成分の割合B/Aが設定された値を超えるとき、フィラメント41に給電して該フィラメント41から電子銃室1に気体を放出することを命令する制御回路26を設ける。

Claim (excerpt)：

電子銃室と、電子銃室に内装されて電子線を放射する電界放射陰極と、前記電子銃室に電子銃室排気管を介して接続された真空ポンプと、を含んでなる電界放射型電子銃において、前記電子銃室に気体を放出する手段と、電子線電流を検出する検出手段と、検出された電子線電流の直流成分Aに対する交流成分Bの割合B/Aを演算する演算手段と、該割合B/Aが一定値を超えるとき、前記気体を放出する手段に気体放出を命令する制御手段とを設けたことを特徴とする電界放射型電子銃。

IPC (6)：

H01J 37/073 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/26 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027