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J-GLOBAL ID:200903080088617001

画像判定装置および画像判定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石井 康夫 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994206172
Publication number (International publication number):1996068764
Application date: Aug. 31, 1994
Publication date: Mar. 12, 1996
Summary:
【要約】【目的】 被検査体の表面欠陥の種別の同定を精度良く行ない、合否、再検査の判別を行なって、目視検査員を削減するとともに、検査情報を製造工程へフィードバックすることが可能な画像判定装置および画像判定方法を提供する。【構成】 感光体ドラム2表面の検出エリア1の画像をCCDカメラ6で読み取り、信号処理部8で信号処理して欠陥判定部9に入力する。欠陥判定部9内の特徴抽出部11は、読取画像から特徴量を抽出する。計算部12では、特徴量をもとに、判別関数記憶部14内の判別関数を選択的に用いて欠陥種別の群予測を行ない、欠陥種別に対応した大きさの群予測を判別関数記憶部14内の判別関数および重回帰式記憶部13内の重回帰式を用いて行なう。判定部15は、欠陥種別の群予測、欠陥の大きさの群予測の結果から、感光体ドラム2の良、不良、再検査を判定するとともに、欠陥の発生した工程を出力する。
Claim (excerpt):
被検査体の表面の画像から検査項目についての判定を行なう画像判定装置において、被検査体の表面の画像を取り込む画像入力手段と、該画像入力手段で取り込んだ画像から複数の特徴量を抽出する特徴抽出手段と、該特徴抽出手段で抽出した複数の特徴量を説明変量とし多変量解析により複数の群予測を行なうための関数を複数記憶する記憶手段と、前記特徴抽出手段で抽出した複数の特徴量を説明変量として前記記憶手段に記憶されている関数を選択的に用いて欠陥の種類の群予測を行なうとともに該欠陥の種類の群予測の結果に対応した欠陥の大きさの群予測を行なう群予測手段と、該群予測手段による前記欠陥の種類の群予測の結果と前記欠陥の大きさの群予測の結果の両者の組み合わせにより欠陥の合否および再検査の判別を行なう判別手段を有することを特徴とする画像判定装置。
IPC (2):
G01N 21/88 ,  G06T 7/00

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