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J-GLOBAL ID：200903080095312410
ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996318615
Publication number (International publication number)：1998149974
Application date： Nov. 15, 1996
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：
【要約】【課題】 基板ステージへの床の振動の伝達を有効に防止する。【解決手段】 基板を載せて移動するステージをその移動を許容するようにステージ定盤7上に支持し、ステージ定盤7を水平面内で移動可能にベース部材10上にエアベアリング等64で支持するとともに、ステージの加減速によりステージ定盤が移動するのを阻止するようにステージ定盤にリニアモータ65〜68で推力を付与する。
Claim (excerpt)：
ステージ定盤と、このステージ定盤上で水平な所定の方向に移動可能に支持されたステージと、このステージをステージ定盤上で前記所定方向に移動させるステージ駆動手段と、ベース部材と、このベース部材上でステージ定盤を水平面内で所定方向に移動可能に支持する定盤支持手段と、ステージの加減速によりステージ定盤が移動するのを阻止するようにステージ定盤に推力を付与する推力付与手段とを具備することを特徴とするステージ装置。
IPC (5)：
H01L 21/027
, B23Q 1/25
, B23Q 11/00
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
H01L 21/30 516 B
, B23Q 11/00 A
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68 K
, H01L 21/30 503 B
, H01L 21/30 515 G
, B23Q 1/18 A
