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J-GLOBAL ID:200903080100238976
走査型顕微鏡
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992290088
Publication number (International publication number):1994051205
Application date: Oct. 28, 1992
Publication date: Feb. 25, 1994
Summary:
【要約】【目的】本発明は、広い波長域に亘って常に良好なスポットを形成でき、しかも操作が容易な走査型顕微鏡を提供することを目的とする。【構成】光源1からの照明光を被観察面13に集光させるための瞳投影レンズを互いに波長域が異なる複数種類の照明光に対応した数だけ設け、それら各瞳投影レンズ29a,29bに対応する波長域の収差補正を施し、かつ光路近傍に設けられたレンズ切換部材23にそれぞれ装填して選択的に光路上に配置するようにした。
Claim (excerpt):
光源からの照明光を被観察面に集光させるための瞳投影レンズを備えた走査型顕微鏡において、前記瞳投影レンズは、互いに波長域が異なる複数種類の照明光に対応した数だけ設けられ、それぞれ対応する波長域の収差補正が施され、かつ光路近傍に設けられたレンズ切換部材にそれぞれ装填されて選択的に光路上に配置されることを特徴とする走査型顕微鏡。
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