空気中不純物の除去装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金本哲男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993229455
Publication number (International publication number)：1995060044
Application date： Aug. 23, 1993
Publication date： Mar. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】処理空気の湿度を一定に維持しながら高いガス状不純物除去効率を得ることができる空気中不純物の除去装置を提供する。【構成】本発明によれば、不純物除去手段5によりガス状不純物を処理する前に、冷却手段4で対象空気を所定の露点温度にまで冷却除湿し水分飽和空気とする。その結果、気液接触時には、空気中の水分量が飽和しているので、気液間で水分の移動が行われず、したがって、処理空気の水分量を変化させずにガス状不純物の除去が行える。また処理空気に接触させる液状物質の温度を、温調手段により処理空気の露点温度とほぼ等しくなるように調節することにより、気液間での水分の移動をより効果的に回避することができる。さらにまたガス状不純物のイオン化除去装置、あるいは帯電性ミストとガス状不純物の接触により除去装置を、前処理装置として設置すれば、より高い除去効率が継続的に達成できる。

Claim (excerpt)：

不純物を含む対象空気流を上流より下流に流通させることが可能なチャンバと、そのチャンバ内に設置されており上記対象空気流に含まれる上記不純物を取り込み可能な液状物質を上記対象空気流に接触させた後回収することができる不純物除去手段と、その不純物除去手段の上流に設置されており上記対象空気流を水分飽和状態にまで冷却することが可能な冷却手段とから成ることを特徴とする、空気中不純物の除去装置。

IPC (4)：

B01D 47/00 , B01D 51/00 , B03C 3/00 , B03C 3/014

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開昭63-270521
特開昭62-250925

Cited by examiner (2)

特開昭63-270521
特開昭62-250925

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