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J-GLOBAL ID：200903080132935245
X線応力測定法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994207270
Publication number (International publication number)：1996068702
Application date： Aug. 31, 1994
Publication date： Mar. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 結晶粒の少ない試料についても、回折X線の測定によって高精度に応力を求めることを可能にすること。【構成】 測定すべき応力の要求精度に応じて傾角ψi の設定数を増やし(ステップ105,106)、各傾角ψi における格子面間距離di はそれぞれの回折線プロファイルの重心位置の角度を回折角θi としてブラッグ式に基づいて算出し(ステップ103)、格子面間距離dとsin2 ψとの相関を示すd-sin2 ψ線図を求める際には、前記格子面間距離dとして、各ψi における算出値di に各回折線プロファイルの積分強度Ii で重みをつける。
Claim (excerpt)：
測定対象の試料の試料表面法線Moと結晶格子面法線Mとのなす角度である結晶格子面の傾角をψi とするとき、前記試料に波長λの特性X線を照射して、得た回折線プロファイルから前記試料に作用している応力σを算出するX線応力測定法であって、測定すべき応力の要求精度が高いほど前記傾角ψi の設定数を増やして、各傾角ψi において回折線プロファイルを測定し、各傾角ψi における格子面間距離di は、それぞれの回折線プロファイルの重心位置の角度を回折角θi として、ブラッグ式に基づいて算出し、かつ、格子面間距離dとsin2 ψとの相関を示すd-sin2 ψ線図を求める際には、前記格子面間距離dとして、回折に寄与した結晶粒の体積を考慮するために、各ψi における算出値di に各回折線プロファイルの積分強度Ii で重みをつけたdi ・F(Ii )を使用して、前記試料における応力σを求めることを特徴とするX線応力測定法。
IPC (3)：
G01L 1/00
, G01L 1/25
, G01N 23/20
