窒化炭素の製造方法並びに窒化炭素

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：北村修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996159308
Publication number (International publication number)：1998008257
Application date： Jun. 20, 1996
Publication date： Jan. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】比較的小さなエネルギーで理想組成に近い組成を有する窒化炭素を生成する製造方法を提供する【解決手段】炭素源となる物質と窒素源となる物質をチャンバー内に導入し、炭素源となる物質の炭素の結合を励起する光を照射する光CVD法により窒化炭素を生成する。光源としてはレーザー光を使用することが好ましい。

Claim (excerpt)：

炭素源となる物質と窒素源となる物質をチャンバー内に導入し、前記チャンンバー内にて前記炭素源となる物質と前記窒素源となる物質に対して、前記炭素源となる物質の炭素の関与する結合の1個以上を励起する光を照射する光CVD法により窒化炭素を生成する窒化炭素の製造方法。

IPC (2)：

C23C 16/48 , C23C 16/34

FI (2)：

C23C 16/48 , C23C 16/34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

窒化炭素配向膜被覆部材及び製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-352602 Applicant：住友電気工業株式会社
ガラス成形用型とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-327703 Applicant：京セラ株式会社
硬質膜被覆部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-211488 Applicant：京セラ株式会社

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