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J-GLOBAL ID：200903080176354894

圧電型マイクロ流体制御器

Inventor：
中谷 将也

About 中谷 将也


Applicant, Patent owner：
松下電器産業株式会社

About 松下電器産業株式会社


Agent (3)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004275331
Publication number (International publication number)：2006090181
Application date： Sep. 22, 2004
Publication date： Apr. 06, 2006
Summary：
【課題】従来の方法は、流路内壁の一部を弾性的に変化するダイアフラムとして構成しているので、流路の内壁が極めて壊れやすい構造となる。【解決手段】第一の基板と、この第一の基板の上面側から形成した少なくとも一つ以上の流路を有し、この上面側に第二の基板が当接されることで、これら流路が入出力部を除いて外部より遮断される流体制御器であって、上記流路の横壁に平行に第一のスリットが設けられることで、上記流路の横壁の一部を弾性的に変形するダイアフラムで構成するものとし、このダイアフラムの板厚方向に平行な側面に少なくとも一対の第一の電極と圧電体と第二の電極で構成された圧電素子が、上記側面内で上記流路側もしくは上記第一のスリット側のどちらかに偏在して設けられた構成とする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
第一の基板と、この第一の基板の上面側から形成した少なくとも一つ以上の流路を有し、この上面側に第二の基板が当接されることで、これら流路が入出力部を除いて外部より遮断される流体制御器であって、上記流路の横壁に平行に第一のスリットが設けられることで、上記流路の横壁の一部を弾性的に変形するダイアフラムで構成するものとし、このダイアフラムの板厚方向に平行な側面に少なくとも一対の第一の電極と圧電体と第二の電極で構成された圧電素子が、上記側面内で上記流路側もしくは上記第一のスリット側のどちらかに偏在して設けられた、流体ポンプ。
IPC (3)：
F04B 43/04 ,  B81B 3/00 ,  H01L 41/09
FI (5)：
F04B43/04 B ,  B81B3/00 ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J
F-Term (14)：
3H077AA00 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE12 ,  3H077EE15 ,  3H077EE23 ,  3H077EE31 ,  3H077EE34 ,  3H077FF03 ,  3H077FF06 ,  3H077FF21 ,  3H077FF36
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

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