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J-GLOBAL ID:200903080181872704

高感度光波反射測定装置及び該装置を利用した 光波エコートモグラフィー装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994257707
Publication number (International publication number):1996086746
Application date: Sep. 14, 1994
Publication date: Apr. 02, 1996
Summary:
【要約】【目 的】 多モード発振レーザを光源として、被測定物体内の屈折率の異なる境界面の位置情報を高感度で得る光波反射像測定装置を提供する。【構 成】 多モード発振レーザを照射光として屈折率の異なる層からなる被測定物体に照射する照射手段と、前記被測定物体内部の奥行き方向の屈折率の異なる地点からの反射光と、遅延時間を変化させられた参照光とを合成する合成手段と、合成された光を光電変換する変換手段と、光電変換手段の時定数を多モードのモード間のビート成分に応答しないようにして、該手段から出力される被測定物体の反射位置に対応して生ずる出力の位置より被測定物体の奥行き方向の反射地点を求める光波反射測定装置。
Claim (excerpt):
多モード発振レーザ光を照射光として屈折率の異なる層からなる被測定物体に照射する照射手段と、前記照射光の一部よりの参照光の遅延時間を変化させる手段と、前記被測定物体内部の奥行き方向の屈折率の異なる地点からの反射光と、遅延時間を変化させられた参照光とを合成する合成手段と、前記合成手段で合成された光を光電変換する変換手段と、該手段から出力される被測定物体の反射位置に対応して生ずる出力の位置より被測定物体の奥行き方向の反射地点を求める手段とを、具備したことを特徴とする光波反射測定装置。
IPC (2):
G01N 21/27 ,  G01N 21/17

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