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J-GLOBAL ID:200903080186628682
プラズマ重合による高分子薄膜の製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
工業技術院物質工学工業技術研究所長
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998010193
Publication number (International publication number):1999209416
Application date: Jan. 22, 1998
Publication date: Aug. 03, 1999
Summary:
【要約】【課題】 これまで、プラズマ重合に用いられていた有機化合物はもちろん、通常のプラズマ重合法では実質上重合しない有機化合物についてもプラズマ重合させることができ、高分子薄膜を効率よく製造する方法を提供する。【解決手段】 ガス状有機化合物をプラズマ重合させて、高分子薄膜を製造するに際し、反応系に触媒量のヨウ素ガスを添加する。
Claim (excerpt):
ガス状有機化合物をプラズマ重合させて、高分子薄膜を製造するに当り、反応系に触媒量のヨウ素ガスを添加することを特徴とする高分子薄膜の製造方法。
Patent cited by the Patent:
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