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J-GLOBAL ID:200903080204336392
近視野光学顕微鏡装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長尾 達也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999052765
Publication number (International publication number):2000249646
Application date: Mar. 01, 1999
Publication date: Sep. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】本発明は、微小開口部近傍に存在するエバネッセント場の方向性を制御することにより、物質の方向に依存する光学情報を得るための近視野光学顕微鏡装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、直線偏光を発生する光源からの光の波長より小さい径の微小開口部を有し、該光源からの光を該微小開口部に導き、かつ該光源からの光により該微小開口部近傍にエバネッセント場を生じさせる光ファイバプローブを備え、該光ファイバプローブに近接・対向させて配置された試料との相互作用によって生じる散乱光を、光検出手段によって検出し、光学情報を得る近視野光学顕微鏡装置であって、前記光ファイバプローブが前記光源からの光の偏波を保存する特性を有することを特徴とするものである。
Claim (excerpt):
直線偏光を発生する光源からの光の波長より小さい径の微小開口部を有し、該光源からの光を該微小開口部に導き、かつ該光源からの光により該微小開口部近傍にエバネッセント場を生じさせる光ファイバプローブを備え、該光ファイバプローブに近接・対向させて配置された試料との相互作用によって生じる散乱光を、光検出手段によって検出し、光学情報を得る近視野光学顕微鏡装置であって、前記光ファイバプローブが前記光源からの光の偏波を保存する特性を有することを特徴とする近視野光学顕微鏡装置。
IPC (3):
G01N 13/14
, G01B 11/30
, G02B 21/00
FI (3):
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
, G02B 21/00
F-Term (22):
2F065AA37
, 2F065AA49
, 2F065FF00
, 2F065GG05
, 2F065GG06
, 2F065GG25
, 2F065HH04
, 2F065HH09
, 2F065JJ17
, 2F065JJ18
, 2F065LL02
, 2F065LL24
, 2F065LL42
, 2F065LL67
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065PP24
, 2F065QQ27
, 2H052AA07
, 2H052AC26
, 2H052AC34
, 2H052AF07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
-
情報記録再生装置、プローブ走査型顕微鏡、微細加工装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-017116
Applicant:株式会社日立製作所
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走査型反射光顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-042458
Applicant:株式会社日立製作所
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