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J-GLOBAL ID：200903080223490157
アクティブ振動絶縁装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
守谷 一雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992119229
Publication number (International publication number)：1994066346
Application date： May. 12, 1992
Publication date： Mar. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】 空気バネで支持されている制御対象物の変位応答特性を良好にする。【構成】 振動センサと、変位センサと、振動信号から得られた加速度信号、速度信号および変位信号により駆動され制御対象物に制御力を注入するアクチュエータとにより振動制御ループを形成すると共に、変位信号および変位信号から得られた変位量信号により駆動され空気バネの空圧を調整する電気空圧アナログ弁により変位制御ループを形成したものである。【効果】 制御対象物の振動の制御は振動センサ、変位センサから空気バネの振動制御ループによって行なわれ、変位の制御は変位センサから空気バネの変位制御ループによって行なわれ、ミクロン単位の垂直方向の変位制御を行うことができる。
Claim (excerpt)：
空気バネで支持されている制御対象物に搭載され振動を検出して振動信号を出力する振動センサと、前記制御対象物と前記空気バネの設置面間の変位を検出して変位信号を出力する変位センサと、前記振動信号から得られた加速度信号、速度信号および前記変位信号から選ばれた信号により駆動され前記制御対象物に制御力を注入するアクチュエータとにより振動制御ループを形成すると共に、前記変位信号および前記変位信号から得られた変位量信号により駆動され前記空気バネの空圧を調整する電気空圧アナログ弁により変位制御ループを形成したことを特徴とするアクティブ振動絶縁装置。
IPC (3)：
F16F 15/04
, F16F 9/02
, F16F 9/50
