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J-GLOBAL ID：200903080241753114

プラズマ装置

Inventor： 林 和夫 ,  井関 康 ,  野田 悦夫 ,  大岩 徳久
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999069902
Publication number (International publication number)：2000269191
Application date： Mar. 16, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】プラズマのイオン密度の時間変化を簡便且つ高精度で測定する。【解決手段】放電容器100の側壁には光透過性の測定窓106が設けられている。測定窓106の外側には、集光器112が配置され放電容器100内の光を光伝送路113に導入する。光伝送路113は、途中で二つに分岐し、それぞれの端がバンドパスフィルタ114a,114bに接続されている。二つのバンドパスフィルタ114a,114bの透過波長はそれぞれ異なり、同一種原子の発光ラインとイオンの発光ラインをそれぞれ選択的に透過させる。バンドパスフィルタ114a,114bの後段には、光強度検出器115a,115bがそれぞれ直結され、原子の発光ラインとイオンの発光ラインの強度がそれぞれ測定されて、電気信号に変換され、測定結果がデータ処理部117に伝達される。データ処理部117は、測定された光強度の比を計算し出力する。

Claim (excerpt)：

放電プラズマを形成するプラズマ装置において、前記放電プラズマから放射される光の中から、同一種の原子或いは分子の中性粒子及びイオンからの発光成分だけをそれぞれ抽出する波長選別器と、前記波長選別器によって抽出された中性粒子及びイオンの発光成分の強度をそれぞれ測定する光強度検出器と、光強度検出器により測定された、前記イオンの発光成分の強度と前記中性粒子の発光成分の強度との比の時間変化から、前記放電プラズマ中のイオン密度の経時変化を求めるデータ処理部とを具備してなることを特徴とするプラズマ装置。

IPC (3)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  H05H 1/00

FI (3)：

H01L 21/302 E ,  C23F 4/00 F ,  H05H 1/00 A

F-Term (12)：

4K057DA14 ,  4K057DD01 ,  4K057DE14 ,  4K057DJ03 ,  4K057DM02 ,  4K057DN01 ,  5F004BA04 ,  5F004BB13 ,  5F004CB02 ,  5F004CB16 ,  5F004DA22 ,  5F004DA23