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J-GLOBAL ID：200903080249108510
ウエハ処理装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995017715
Publication number (International publication number)：1996213448
Application date： Feb. 06, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：
【要約】【目的】 複雑な機械的な制御機構を用いることなく、簡単な構造でウエハを傾斜した状態に保持することが可能なウエハ処理装置を提供する。【構成】 ゲート4を通じて搬送アーム5によって搬送されたウエハ6を裏面から水平に保持して上下動可能なウエハ保持部7と、このウエハ保持部7の下方に配置され、ウエハ6がウエハ保持部7によって下降されたときこのウエハ6をウエハ保持部7から離脱させて、裏面から傾斜して載置する傾斜面8が設けられたウエハ載置部9とを有するウエハ処理室3を備えるようにする。
Claim (excerpt)：
ゲートを通じて搬送されたウエハを裏面から水平に保持して上下動可能なウエハ保持部と、このウエハ保持部の下方に配置され、前記ウエハがウエハ保持部によって下降されたときこのウエハをウエハ保持部から離脱させて、裏面から傾斜して載置する傾斜面が設けられたウエハ載置部と、を有するウエハ処理室を備えたことを特徴とするウエハ処理装置。
IPC (3)：
H01L 21/68
, C30B 25/12
, H01L 21/304 351
