収差補正器付電子線装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：小川勝男 , 田中恭助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003094285
Publication number (International publication number)：2004303547
Application date： Mar. 31, 2003
Publication date： Oct. 28, 2004
Summary：

【課題】多極子レンズを使用する収差補正器付電子線装置は、光軸調整の際に収差補正器単体の軸合わせ不良と収差補正器以外の部分での軸合わせ不良が、渾然として切り分けがつかず、調整に時間がかかる。【解決手段】収差補正器を動作させる走査モードと、動作させない走査モードをもち、その両方で対物レンズの物点位置が変わらないように収差補正器、コンデンサーレンズ等の動作を制御する。両モードで試料の2次電子像を比較すれば像倍率やフォーカスは変わらず、収差補正器の効果のみを切り分けて評価、調整でき、軸調整時間の短縮が図れる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

電子銃と、コンデンサーレンズと、複数個の多極子レンズを組み合わせて対物レンズの色収差あるいは球面収差あるいはその両方を同時に相殺するよう機能する収差補正器と、電子ビームを試料表面に収束させる対物レンズと、収束された電子ビームを試料面上を走査させるための走査コイルと、前記各レンズおよび収差補正器を制御するコンピュータとを備えた収差補正器付電子線装置において、前記コンピュータは収差補正器を動作させる走査モードと、収差補正器を動作させない走査モードとを持ち、いずれのモードでも対物レンズの物点位置が実質的に変わらないように、前記各レンズおよび収差補正器を制御することを特徴とする収差補正器付電子線装置。

IPC (2)：

H01J37/153 , H01L21/027

FI (2)：

H01J37/153 B , H01L21/30 541A

F-Term (5)：

5C033JJ01 , 5F056AA02 , 5F056BA05 , 5F056CB29 , 5F056CB30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

電子顕微鏡及びその焦点位置制御方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-182060 Applicant：理化学研究所
電子光学系
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-196408 Applicant：株式会社ニコン
荷電粒子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-368943 Applicant：株式会社日立製作所

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