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J-GLOBAL ID：200903080268922724

拡大投影型露光装置における投影像のアライメント方法

Inventor： 笹田 滋
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 小笠原 史朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994086529
Publication number (International publication number)：1995295230
Application date： Apr. 25, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】非セントリックな光学系を有する拡大投影型露光装置において、カラー液晶表示パネルの各回路パターンを高い重ね合わせ精度で露光できるようにする。【構成】テスト用ガラス基板上にアライメントマーク像P’1〜P’4’を仮投影し、それらの位置をアライメントスコープで観察して、位置データとして記憶保持しておく。次に、その基板を本番用ガラス基板と差し替え、その基板上で観察される実際のアライメントマークの位置と、先の記憶保持されたアライメントマークの像の位置との誤差を演算し、誤差が所定の許容範囲に収まるように、ステージ107を少なくともZ軸方向(投影レンズ102の光軸と平行な方向)に移動させる。これによって、このような光学系を有する露光装置においても各回路パターン間の精度を高精度に保つことができる。またアライメント時にアライメント光が移動することがないため、不所望な領域の露光を防止することができる。

Claim (excerpt)：

カラー液晶表示パネルの製造のために用いられる拡大投影型露光装置において、基板上に投影される像の露光位置をアライメントするための方法であって、前記拡大投影型露光装置は、その上面に基準マークが形成され、かつ基板が載置されるステージと、レチクルを透過した光パターンを前記ステージ上の基板に拡大投影し、少なくとも当該基板との間の主光線がその光軸に対して傾いている非テレセントリックな投影レンズと、前記ステージを前記投影レンズの光軸と直交するXY平面内で駆動する第1の駆動手段と、前記ステージを、少なくとも3カ所において、前記投影レンズの光軸と平行なZ軸方向に独立的に駆動する第2の駆動手段と、前記基板上に形成されたまたは投影されたアライメントマークまたはその像を観察する複数のアライメントスコープと、前記ステージの前記XY平面内での位置を検出するXY位置検出手段と、前記Z軸方向に沿った前記基板の上面位置を、複数の箇所において検出する上面位置検出手段とを備えており、前記ステージ上にテスト用基板を供給する第1のステップと、前記ステージ上のテスト用基板が所定の露光位置にセットされるように、前記第1および第2の駆動手段を制御する第2のステップと、前記レチクルに形成された複数のアライメントマークを、前記テスト用基板上に拡大投影する第3のステップと、前記テスト用基板上に投影された各アライメントマーク像の位置を前記各アライメントスコープで観察し、その観察結果を位置データとして記憶保持する第4のステップと、前記ステージ上のテスト用基板を本番用基板と差し替える第5のステップと、前記本番用基板上に既に形成されている各アライメントマークを前記各アライメントスコープで観察し、それらの位置を測定する第6のステップと、前記第4のステップで記憶保持された各アライメントマーク像の位置データと前記6のステップで得られた各アライメントマークの位置との間の誤差を演算する第7のステップと、前記第7のステップで得られた誤差が予め定められた所定の許容範囲内に収まるように、少なくとも前記第2の駆動手段を制御する第8のステップとを備える、投影像のアライメント方法。

IPC (3)：

G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027