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J-GLOBAL ID：200903080288272211

物品の水切り乾燥方法及びその装置

Inventor： 服部 敏夫 ,  宮入 嘉夫
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 内田 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995010087
Publication number (International publication number)：1996200951
Application date： Jan. 25, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 部品の水切り乾燥を確実行うとともにパーフルオロ有機化合物蒸気を確実に回収し、大気への溶剤の漏出を実質的に防止できる、部品の水切り乾燥方法及びその装置を提供しようとするものである。【構成】 水洗後の物品を、パーフルオロ有機化合物を主成分とし、界面活性剤を添加した溶剤中に浸漬し、超音波又は噴流で処理した後、前記物品をパーフルオロ有機化合物蒸気中で蒸気洗浄して界面活性剤をリンスし、さらに、乾燥室に移し、乾燥室の排ガスを吸着剤で回収して再利用することを特徴とする物品の水切り乾燥方法、及び、ターンテーブル方式の移動機構を採用した密閉式水切り乾燥装置である。

Claim (excerpt)：

水洗後の物品を、パーフルオロ有機化合物を主成分とし、界面活性剤を添加した溶剤中に浸漬し、超音波又は噴流で処理した後、前記物品をパーフルオロ有機化合物蒸気中で蒸気洗浄して界面活性剤をリンスし、さらに、乾燥室に移し、乾燥室の排ガスを吸着剤で回収して再利用することを特徴とする物品の水切り乾燥方法。

IPC (4)：

F26B 19/00 ,  B08B 3/08 ,  F26B 7/00 ,  H01L 21/304 361