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J-GLOBAL ID:200903080323815150

集光装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998292383
Publication number (International publication number):2000121945
Application date: Oct. 14, 1998
Publication date: Apr. 28, 2000
Summary:
【要約】【課題】 光束集光時に収差による波面の乱れや強度を測定し、そのデータに基づいて発生した収差を相殺することにより、迅速且つ高精度に最良の集光状態を得ることができる集光装置を提供する。【解決手段】 集光装置は、光束1を光学系の焦点位置(標本5の位置)に集光させる集光光学系4と、集光光学系4による集光状態を検出する検出装置10,11,12,13と、検出装置からの出力データに基づき集光光学系による集光状態を最良の状態にする波面変換素子3とを備えている。
Claim (excerpt):
光束を光学系の焦点位置に集光させる集光光学系と、該集光光学系による集光状態を検出する検出装置と、該検出装置からの出力データに基づき前記集光状態を最良の状態にする波面変換素子とを備えた集光装置。
IPC (2):
G02B 19/00 ,  G02F 1/13 505
FI (2):
G02B 19/00 ,  G02F 1/13 505
F-Term (10):
2H052AC18 ,  2H088EA42 ,  2H088EA47 ,  2H088EA48 ,  2H088HA13 ,  2H088HA20 ,  2H088HA21 ,  2H088HA24 ,  2H088HA28 ,  2H088MA20
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
  • 特開平3-265819
  • 特開昭63-208817
  • 光伝送装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-030414   Applicant:三洋電機株式会社, 技術研究組合新情報処理開発機構
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