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J-GLOBAL ID：200903080333942177

プレーナ型ガルバノミラー

Inventor： 青木 浩
Applicant, Patent owner： ミヨタ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999308901
Publication number (International publication number)：2001125038
Application date： Oct. 29, 1999
Publication date： May. 11, 2001
Summary：

【要約】【課題】 外的応力の影響を受けにくく、実装性の良いプレーナ型ガルバノミラーを得る。【解決手段】 ガルバノミラーチップを台座基板に搭載し、ワイヤーボンディングにより前記チップと前記台座基板との電気的接続を行い、前記台座基板を穴又は溝を有するベース基板にワイヤー側を下方にして前記穴又は溝にワイヤーループを合わせて搭載し、該ベース基板上に前記永久磁石と前記ヨークを固定してプレーナ型ガルバノミラーを構成する。

Claim (excerpt)：

半導体基板に、平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の一方の面にミラーを形成し、他方の面に磁界を発生する平面コイルを形成したプレーナ型ガルバノミラーチップと、前記チップのトーションバーの軸方向と平行に配置された可動板の平面コイルに磁界を作用させるための対をなす永久磁石と、ヨークとで構成されるプレーナ型ガルバノミラーにおいて、前記チップを台座基板に搭載し、ワイヤーボンディングにより前記チップと前記台座基板との電気的接続を行い、前記台座基板を穴または溝を有するベース基板にワイヤー側を下方にして前記穴または溝にワイヤーループを合わせて搭載し、該ベース基板上に前記永久磁石と前記ヨークを固定して成ることを特徴とするプレーナ型ガルバノミラー。

F-Term (3)：

2H045AB16 ,  2H045AB73 ,  2H045BA02