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J-GLOBAL ID：200903080333982365
加速度計及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
寒川 誠一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992062868
Publication number (International publication number)：1993264575
Application date： Mar. 19, 1992
Publication date： Oct. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 車に搭載されるエアバックのセンサーやナビゲーション・システムの検出部として使用される加速度センサーを信号処理のIC回路と一体化したONCHIP加速度計とその製造方法とに関し、小型で高感度の加速度計を提供することを目的とする。【構成】 少なくとも3個の支持梁によって支持される錘部と、支持梁に配設されたピエゾ抵抗の変化、または、支持梁の共振周波数の変化、または、支持梁に配設された静電容量の変化を利用して錘部に加わる加速度を検出する加速度検出部とを有する加速度計において、錘部は平板15上に半田17が半球状に融着されるように構成される。
Claim (excerpt)：
少なくとも3個の支持梁によって支持される錘部と、前記支持梁に配設されたピエゾ抵抗の変化を利用して前記錘部に加わる加速度を検出する加速度検出部とを有する加速度計において、前記錘部は平板(15)上に半田(17)が半球状に融着されてなることを特徴とする加速度計。
IPC (2)：
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