Pat

J-GLOBAL ID：200903080344584396

気体放電表示素子およびその製造方法

Inventor： 逸見 和久 ,  野呂 正
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 田澤 博昭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992075801
Publication number (International publication number)：1993242812
Application date： Feb. 28, 1992
Publication date： Sep. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】 気体放電表示素子において、被覆型陰極間のピッチの高精細化を可能にする。【構成】 多数の下地陰極を有する背面基板上の全面に、フォトレジストをコーティングし、下地陰極間の一部を露光、現像することによって、表面陰極のパターニングを行う。その後、表面陰極となる電子放出材料をプラズマ溶射またはスパッタリングによって、上記表面陰極パターン上につけ、フォトレジストをケトン系溶剤あるいはエーテル系溶剤で剥離、または450〜500°Cで熱処理することにより被覆型陰極を形成する。【効果】 高精細な被覆型陰極を形成することができる。

Claim (excerpt)：

被覆型陰極を有する背面基板と、前記被覆型陰極に相対する陽極をマトリックス状に設けられた前面基板と、これらの背面基板および前面基板間に放電ガスとを有し、前記被覆型陰極のうちの表面陰極が、六硼化物(MB6 )、炭化物(MC)酸化物(MO)のうち少なくとも1種類の材料で作られている気体放電表示素子において、前記被覆型陰極の表面陰極が、ポジ型フォトレジスト、ネガ型フォトレジスト、またはポジ型フォトレジストの上にネガ型フォトレジストを乗せた積層型フォトレジストのうち、いずれかのフォトレジストを用いたリフトオフ法により形成されていることを特徴とする気体放電表示素子。

IPC (2)：

H01J 17/16 ,  H01J 9/02