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J-GLOBAL ID：200903080395139524

検査対象物のスペックル像からの位相抽出・符号を含む変位値の絶対的評価方法及びそのための装置

Inventor： 吉田 賛一郎 ,  スプラペディ ,  アヌング クスノウォ
Applicant, Patent owner： 新技術事業団
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995268261
Publication number (International publication number)：1997113233
Application date： Oct. 17, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【目的】 簡便に、かつ正確に検査対象物の変形による位相差を抽出するとともに、その変位の向きを判別することができる検査対象物のスペックル像からの位相抽出・符号を含む変位量の絶対的評価方法及びそのための装置を提供する。【構成】 検査対象物のスペックル像からの位相抽出・変位の向きを判別するために、第1のレーザービーム21又は第2のレーザービーム22の位相を進めるか遅らせるためのくさび状のガラス板51を駆動装置52により駆動するようにして、検査対象物の変形による位相差を抽出するとともに、その変位の向きを判別可能にする。

Claim (excerpt)：

検査対象物のスペックル像からの位相抽出・符号を含む変位値の絶対的評価方法において、(a)前記検査対象物に等しい入射角で第1のレーザービームと第2のレーザービームとを照射し、前記検査対象物の変形前のスペックル像IbeforeをCCDカメラに取り込むステップと、(b)第2のレーザービームを遮光して第1のレーザービームのみの照射による前記検査対象物の変形前のスペックル像I1 beforeをCCDカメラに取り込むステップと、(c)第1のレーザービームを遮光して第2のレーザービームのみの照射による前記検査対象物の変形前のスペックル像I2 beforeをCCDカメラに取り込むステップと、(d)前記CCDカメラにキャップをつけてダークノイズを取り込むステップと、(e)前記検査対象物に等しい入射角で第1のレーザービームと第2のレーザービームとを照射し、前記検査対象物の変形後のスペックル像Iafter をCCDカメラに取り込むステップと、(f)第2のレーザービームを遮光して第1のレーザービームのみの照射による前記検査対象物の変形後のスペックル像I1 after をCCDカメラに取り込むステップと、(g)第1のレーザービームを遮光して第2のレーザービームのみの照射による前記検査対象物の変形後のスペックル像I2 after をCCDカメラに取り込むステップと、(h)前記検査対象物の変形後のダークノイズをCCDカメラに取り込むステップと、(i)前記第1のレーザービームの位相を若干量変化させ、スペックル像I′after とスペックル像I1 ′after をそれぞれCCDカメラに取り込むステップと、(j)前記それぞれに取り込まれたスペックル像からダークノイズを消去することにより、ノイズが消去された前記検査対象物の変形前のスペックル像Ibeforen.fと、ノイズが消去された前記検査対象物の変形後のスペックル像Iafter n.f と、ノイズが消去された前記検査対象物の変形前の第1のレーザービームのみによるスペックル像I1 before n.fと、ノイズが消去された前記検査対象物の変形前の第2のレーザービームのみによるスペックル像I2 before n.fと、ノイズが消去された前記検査対象物の変形後の第1のレーザービームのみによるスペックル像I1 after n.fと、ノイズが消去された前記検査対象物の変形後の第2のレーザービームのみによるスペックル像I2 after n.fと、ノイズが消去された前記第1のレーザービームの位相を若干量変化させて得られたスペックル像I′after n.f とスペックル像I1 ′after n.f とを得るステップと、(k)ノイズが消去された前記検査対象物の変形前のスペックル像Ibefore n.fとノイズが消去された前記検査対象物の変形後のスペックル像Iafter n.f とのスペックル像の和Iadd と、ノイズが消去された前記検査対象物の変形前のスペックル像Ibefore n.fとノイズが消去された前記第1のレーザービームの位相を若干量変化させて得られたスペックル像I′after n.f とのスペックル像の和Iadd ′とを得るステップと、(l)前記Iadd -(I1 before n.f+I2 before n.f+I1 after n.f+I2after n.f)であるIadd mod と、前記Iadd ′-(I1 before n.f+I2 before n.f+I1 ′after n.f+I2 after n.f)であるI′add mod とを得るステップと、(m)前記Ibefore n.f-Iafter n.fであるIsub と、前記Ibefore n.f-I′after n.fであるI′sub を得るステップと、(n)前記Isub 及びI′sub ならびに前記Iadd mod 及びI′add mod に基づいて、前記Isub 及びIadd mod の各スペックル像に現れている各干渉縞位置での変形による位相差の選ばれた座標軸に対する傾きの符号及び大きさを決定するステップと、(o)前記Isub スペックル像に現れる干渉縞の0次のものまたはそれ以外の次数の値のわかっている基準干渉縞を決定し、それとその位置での変形による位相差の選ばれた座標軸に対する傾きの符号に基づき、Iadd mod スペックル像の基準干渉縞を決定するステップと、(p)前記Isub 及びIadd mod スペックル像において、基準干渉縞から出発して前記各干渉縞位置での変形による位相差の選ばれた座標軸に対する傾きの符号から各干渉縞の次数を決定するステップとを施すことを特徴とする検査対象物のスペックル像からの位相抽出・符号を含む変位値の絶対的評価方法。

IPC (3)：

G01B 11/16 ,  G01H 9/00 ,  G01N 3/06

FI (3)：

G01B 11/16 G ,  G01H 9/00 C ,  G01N 3/06