Pat

J-GLOBAL ID：200903080407982362

インクジェット記録ヘッド用薄膜発熱体と同発熱体を配設したインクジェット記録ヘッド用複合基板

Inventor： 和田 俊朗 ,  佐藤 健
Applicant, Patent owner： 住友特殊金属株式会社 ,  日本タングステン株式会社
Agent (1)： 小堀 益
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994211919
Publication number (International publication number)：1996052874
Application date： Aug. 13, 1994
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 従来の発熱体に比べて比抵抗が大きく、抵抗の温度係数が小さく、さらには、耐摩耗性、耐酸化性において優れたインクジェット記録ヘッド用薄膜発熱体とこの発熱体を使用したインクジェット記録ヘッド用複合基板の提供。【構成】 Ti、ZrおよびHfのIVa族元素の炭化物の少なくとも1種を50〜80モル%含有し、残部が炭化珪素20〜50モル%からなる基本成分を有する発熱体であって、Si単結晶基板等の表面に被覆されたAl2 O3 、SiO2等の絶縁層を介して配設してインクジェット記録ヘッド用複合基板を得る。

Claim (excerpt)：

基本成分がIVa族元素の炭化物の中の少なくとも1種を50〜80モル%含み、残部が炭化珪素20〜50モル%からなる薄膜によって形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド用薄膜発熱体。