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J-GLOBAL ID:200903080432989584

サーモパイル

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004345060
Publication number (International publication number):2006153675
Application date: Nov. 30, 2004
Publication date: Jun. 15, 2006
Summary:
【課題】従来の平凸レンズ平面をチップ側に位置させ、センサー部が投影された地域を赤外線検出域とするサーモパイルには、各センサー部投影面積が大きく異なり、微小計測が困難という欠点を有していた。 さらに、レンズ周囲部に配置したセンサー部では、検出域からの赤外線の一部がセンサー部に入射されず出力低という欠点もあった。また、アセンブリ時ワイヤーボンディングの精度要求高とであり、作製困難であった。さらに、レンズ軸の角度ズレが発生しやすく、作製容易ではなかった。【解決手段】平凸レンズ球面をチップ側に位置させる。【選択図】図1
Claim (excerpt):
二種の物質で構成された熱電対でダイヤフラム上に温接点を形成し、周囲ヒートシンク部上に冷接点を形成し、温接点上に吸収膜を設置し複数のセンサー部とするチップを形成し、さらにセンサー部を平凸レンズで投影し検出域とするサーモパイルにおいて、平凸レンズ球面をチップ側に位置させたことを特徴とするサーモパイル。
IPC (1):
G01J 1/02
FI (3):
G01J1/02 C ,  G01J1/02 H ,  G01J1/02 Q
F-Term (7):
2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA14 ,  2G065BA34 ,  2G065BB06 ,  2G065CA04 ,  2G065CA30
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 赤外線検出器
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-225737   Applicant:株式会社村田製作所

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