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J-GLOBAL ID:200903080453310484

フィルムの欠陥検査装置及び方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 小林 和憲 ,  飯嶋 茂 ,  小林 英了
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007144558
Publication number (International publication number):2008298566
Application date: May. 31, 2007
Publication date: Dec. 11, 2008
Summary:
【課題】光学補償フィルム等の僅かな厚みムラや塗工ムラを検出できるようにする。【解決手段】連続的に搬送される検査対象フィルム7の下側の面に光源部15を配してあり、検査対象フィルム7に光を照射する。検査対象フィルム7からの透過光を受光する受光器16は、検査対象フィルム7を俯瞰するように配置されており、その光軸Pとフィルム7に垂直な基準線(法線)Lnと交差角度θ1が与えられ、基準線Lnを回転中心として液晶層の遅相軸Lmを基準に回転角度θ2だけ回転してある。撮影レンズ16aと、検査対象フィルム7との間に凸レンズ21を配してあり、撮影レンズ16aとともにテレセントリック光学系を構成する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
検査対象フィルムを透過した光を受光して得られる受光信号に基づいて、検査対象フィルムの欠陥を検出するフィルムの欠陥検査装置において、 検査対象フィルムの一方の面側に配置され、検査対象フィルムに光を照射する光源と、 検査対象フィルムを透過した光を集光する撮影レンズ及び複数の受光素子がライン状に配列され前記撮影レンズによって集光された光を受光し、受光量に応じた受光信号を出力するラインセンサを有し、前記撮影レンズの光軸と検査対象フィルムの面に垂直な基準線との間に交差角度θ1が与えられるとともに、前記基準線を回転中心にした検査対象フィルムの遅相軸から回転角度θ2の位置に配された受光器と、 前記光源と検査対象フィルムとの間に配された第1の偏光板と、 前記受光器と検査対象フィルムとの間に配され、透過軸が前記第1の偏光板の透過軸に対して傾けられた第2の偏光板と、 前記光源と前記受光器との間のいずれかの位置に配され、前記ラインセンサの各受光素子に受光される検査対象フィルムを透過した光の受光量を均一にするように補正する受光量補正手段とを備えたことを特徴とするフィルムの欠陥検査装置。
IPC (1):
G01N 21/892
FI (1):
G01N21/892 A
F-Term (16):
2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051AB12 ,  2G051AB20 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06 ,  2G051CA07 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051CC15 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA24 ,  2G051ED14
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)

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