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J-GLOBAL ID：200903080475400061

走査光電子顕微鏡

Inventor： 河田 真太郎 ,  原 景太郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993077924
Publication number (International publication number)：1994289299
Application date： Apr. 05, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 気体放出の多い試料、水を含んだ試料からの光電子も検出することのできる光電子顕微鏡を得る。【構成】 試料(8)から光電子を放出させることのできる波長の光を射出する光源(1)と、光源(1)からの光を試料(8)上に集光する光学系(2、3、7)と、試料(8)と光源(1)からの光を相対的に走査する走査ミラー(4)及び駆動装置(16)と、試料に対して正の電位が与えられ、試料(8)から放出された光電子を、電気増倍作用を有する気体を介して捕獲する電極(9)と、を有した走査光電子顕微鏡。

Claim (excerpt)：

試料から光電子を放出させることのできる波長の光を射出する光源と、前記光源からの光を試料上に集光する光学系と、前記試料と前記光とを相対的に走査する走査手段と、前記試料に対して正の電位が与えられ、前記試料から放出された光電子を、電子増倍作用を有する気体を介して捕獲する検出手段と、前記走査手段による走査に同期して前記検出手段の出力を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする走査光電子顕微鏡。