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J-GLOBAL ID：200903080506813521

液晶基板の異物検査装置

Inventor： 近松 秀一
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993171133
Publication number (International publication number)：1995005407
Application date： Jun. 17, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 TFT等の段差の大きなパターンを多数有する液晶基板の異物検査装置を提供することを目的とする。【構成】 基板状に形成された矩形状のパターンの1つの辺に対して水平面に投影した照射角がほぼ45度になる状態で対向させて互いに異なる波長の2本のレーザ光をほぼ等しい仰角で斜めに検出点に照射して前記検出点の上方でそれぞれの散乱光を受光し、それぞれの散乱光の受光レベルがほぼ等しいときに異物と判定するものである。

Claim (excerpt)：

矩形状のパターンが配列された基板の表面に投影されたときの照射角が前記矩形状のパターンの1つの辺に対してほぼ45度になる状態で照射点に立てた法線を挟んで対向する互いに異なる波長の2本のレーザ光を前記基板の表面に対してほぼ等しい仰角で斜めに照射する第1及び第2の照射系と、前記照射点の上方でそれぞれの散乱光を受光し、前記異なる波長のそれぞれに分離してこれら分離された散乱光を第1及び第2の光電変換センサでそれぞれ受光してそれぞれの検出信号を発生する検出光学系と、前記第1及び第2の光電変換センサにより得られる検出信号のレベルがほぼ等しいか否かを検出する検出回路とを備える液晶基板の異物検査装置。

IPC (5)：

G02F 1/13 101 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/88 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/136 500

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-070739
  
• 特開昭62-019739